کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10283233 | 502684 | 2005 | 10 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A numerical study on airflow and dynamic cross-contamination in the super cleanroom for photolithography process
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی انرژی
انرژی های تجدید پذیر، توسعه پایدار و محیط زیست
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We performed the numerical study on the characteristics of airflow and cross-contamination in the photolithography process cleanroom. The nonuniformity, the deflection angle and the global cross-contamination were used to analyze the characteristics and performances of cleanroom. From the numerical results, we found that the airflow characteristics of the cleanroom are largely affected by the porosity of the access panel and adjustment of dampers and the cross-contamination varies with the location of source and the passage of time through the concentration ratio.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Building and Environment - Volume 40, Issue 11, November 2005, Pages 1431-1440
Journal: Building and Environment - Volume 40, Issue 11, November 2005, Pages 1431-1440
نویسندگان
Kwang-Chul Noh, Myung-Do Oh, Seung-Chul Lee,