کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10408836 | 893733 | 2005 | 13 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Interferometric 3-D displacement measurement using wavefront analysis
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Interferometric 3-D displacement measurement using wavefront analysis Interferometric 3-D displacement measurement using wavefront analysis](/preview/png/10408836.png)
چکیده انگلیسی
We propose and demonstrate a novel interferometric technique for 3-D displacement measurement. The method is based on the analysis of the phase difference distribution measured when two coherent curved wavefronts originating from different locations interfere. Both the in-plane and out-of-plane displacements are found simultaneously from a single phase difference distribution. We find that our system could measure with an accuracy better than 1.5 μm for in-plane displacements and 36 μm for out-of-plane displacements over 1 mm range. This accuracy was limited by the output lens performance. Theoretical analysis reveals that sub-micron accuracy may be possible with more careful calibration.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 43, Issue 12, December 2005, Pages 1292-1304
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 43, Issue 12, December 2005, Pages 1292-1304
نویسندگان
D.C.L. Cheung, R.J. Barron, A.R.D. Somervell, T.H. Barnes,