کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10409337 | 893968 | 2011 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A design methodology for fully integrated MEMS and NEMS Pierce oscillators
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
This work proposes a generic methodology to evaluate the feasibility of designing a Pierce oscillator based on a micro or nanoresonator fabricated with any given CMOS technology and with the constraint of using only one single active transistor. Both the design and the transimpedance gain of the electronics are analytically determined for resonators with capacitive or resistive detection. This approach is applied and validated in the case of (a) an electrostatically actuated clamped-clamped beam resonator using a capacitive transduction, and (b) a piezoresistive crossbeam, both based on a standard 0.13 μm CMOS technology.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 172, Issue 1, December 2011, Pages 293-300
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 172, Issue 1, December 2011, Pages 293-300
نویسندگان
G. Arndt, E. Colinet, J. Arcamone, J. Juillard,