کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10409712 894104 2005 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Tunable passband T-filter with electrostatically-driven polysilicon micromechanical resonators
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Tunable passband T-filter with electrostatically-driven polysilicon micromechanical resonators
چکیده انگلیسی
A 2.4 MHz tunable bandpass T-filter built from three micromechanical silicon-micromachined electrostatically-driven resonators is demonstrated for the first time. Non-linear properties of electrostatical transducers are used to obtain a voltage-control of the transmission zero and pole distribution; a novel charge biasing technique is employed for electrostatical transducer biasing. Transmission zero frequency tuning is demonstrated.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 117, Issue 1, 3 January 2005, Pages 115-120
نویسندگان
, , , , , ,