کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10409807 | 894146 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Using diffractive optical element and Zygo interferometer to test large-aperture convex surface
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A valid method for measuring the large-aperture convex surface by using a curved diffractive optical element (DOE) and a Zygo interferometer is demonstrated experimentally. In this method, the direct use of source and high-resolution CCD camera of Zygo interferometer represents a major advance in the areas of adjustment. The DOE, fabricated by combining laser direct writing and lithography, results in higher accuracy, efficiency and lower cost for testing aspheric compared with other types of DOE employed. We have fabricated one optical test system and measured a 110-mm-diameter convex surface of errors 44.3Â nm rms and 311Â nm P-V.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics & Laser Technology - Volume 37, Issue 8, November 2005, Pages 642-646
Journal: Optics & Laser Technology - Volume 37, Issue 8, November 2005, Pages 642-646
نویسندگان
Hua Liu, Zhenwu Lu, Fengyou Li,