کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10418751 | 903211 | 2013 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
TEM study on the electrical discharge machined surface of single-crystal silicon
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: TEM study on the electrical discharge machined surface of single-crystal silicon TEM study on the electrical discharge machined surface of single-crystal silicon](/preview/png/10418751.png)
چکیده انگلیسی
⺠The surface of EDM'd single-crystal silicon has been studied. ⺠Nano-scale pores and crystals of tool material are observed for the first time. ⺠A twinned-crystalline structure is formed in the recast layer. ⺠The structure is formed by epitaxial growth during resolidification.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Materials Processing Technology - Volume 213, Issue 5, May 2013, Pages 801-809
Journal: Journal of Materials Processing Technology - Volume 213, Issue 5, May 2013, Pages 801-809
نویسندگان
J.W. Murray, M.W. Fay, M. Kunieda, A.T. Clare,