کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
11023614 1701262 2019 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Advanced simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer
ترجمه فارسی عنوان
تداخل سنج فیزو به طور فاز تغییر یافته فاز
ترجمه چکیده
این مطالعه پیشنهاد می کند یک تداخل سنج فیزو پیشرفته به طور فاز انتقال همزمان. تداخل سنج پیشنهادی یک پرتو پرتو را به یک تداخل سنج فیزو که به طور همزمان تغییر فاز را معرفی می کند معرفی می کند که چهار تکه های منبع را برای ایجاد یک تفاضل چهار فاز تغییر در یک آشکارساز به طور همزمان به کار می برد. گسترش دهنده ی پرتو برای افزایش دیافراگم آرایه ی لنز و برای کاهش تیرگی حادثه ی روی سطح تست استفاده می شود تا رزولوشن تصویر و دقت اندازه گیری تداخل سنج بهبود یابد. علاوه بر این، زوم اپتیکال را می توان با تغییر بزرگنمایی پرتو پرتو به دست آورد. یک صفحه گام به صورت آزمایشگاهی با استفاده از تداخل سنجی پیشنهاد شده اندازه گیری شد. گام فاز به وضوح در آشکارساز تصویر می شود و نتایج اندازه گیری هماهنگ خوبی با نتایج حاصل از تداخل سنج فیزو تغییر فاز زمانی است که نشان می دهد که تداخل سنج پیشنهادی مناسب برای دیافراگمات طبیعی است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
چکیده انگلیسی
This study proposes an advanced simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer. The proposed interferometer introduces a beam expander into the simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer which employs four point sources to produce four phase shifting interferograms on a detector simutaneously. The beam expander is used to increase the aperture of the lens array and to decrease the inclination of the beam incident on the test surface such that the imaging resolution and the measurement accuracy of the interferometer can be improved. In addition, the optical zoom can be achieved by changing the magnification of the beam expander. A step plate was experimentally measured using the proposed interferometer. The phase step is clearly imaged in the detector, and the measured results are in good agreement with those obtained by the temporal phase-shifting Fizeau interferometer, which indicates that the proposed interferometer is suitable for normal apertures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics & Laser Technology - Volume 111, April 2019, Pages 134-139
نویسندگان
, , , , , , ,