کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1759691 | 1019292 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Laser generation of surface acoustic modes guided by copper lines of sub-micron width on silicon
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
آکوستیک و فرا صوت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Surface acoustic waves guided by a copper line embedded in a silica film on a silicon wafer were generated and detected optically using the laser-induced transient grating technique. Lines as narrow as â¼0.2 μm yield a good signal despite the much larger size of the laser spot. The phase velocity of the guided mode is slightly lower than the surface acoustic wave velocity in the thin film structure. Good correlation between the acoustic frequency and the electrical resistivity of the copper lines results from the dependence of both measurements on the line width.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultrasonics - Volume 50, Issue 7, June 2010, Pages 650-653
Journal: Ultrasonics - Volume 50, Issue 7, June 2010, Pages 650-653
نویسندگان
A.A. Maznev, M. Gostein,