کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1871338 | 1530952 | 2015 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of MEMS Platform for Sensors Applications by Laser Micro Engraving
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک و نجوم (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The target of this work is the demonstration of advanced approaches able to provide rapid prototyping by using laser technology ceramic MEMS platforms for chemical sensor operating under harsh environmental conditions and, on the other hand, to assure microhotplate stable at high temperature, which can be used for the deposition of high working temperature gas sensing materials, for example, oxides of tin, gallium, zirconium and hafnium. As substrate ceramic material in work using alumina oxide
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Physics Procedia - Volume 72, 2015, Pages 475-479
Journal: Physics Procedia - Volume 72, 2015, Pages 475-479