کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
4764996 | 1423855 | 2017 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Data ArticleData set for fabrication of conformal two-dimensional TiO2 by atomic layer deposition using tetrakis (dimethylamino) titanium (TDMAT) and H2O precursors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
مهندسی شیمی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The data and complementary information presented hare are related to the research article of “http://dx.doi.org/10.1016/j.matdes.2017.02.016; Materials and Design 120 (2017) 99-108” [1]. The article provides data and information on the case of atomic layer deposition (ALD) of ultra-thin two-dimensional TiO2 film. The chemical structure of precursors, and the fabrication process were illustrated. The data of spectral ellipsometric measurements and the methods of calculations were presented. Data of root mean square roughness and the average roughness of the ADL TiO2 film are presented. The method of bandgap measurements and the bandgap calculation are also explained in the present data article.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Data in Brief - Volume 13, August 2017, Pages 401-407
Journal: Data in Brief - Volume 13, August 2017, Pages 401-407
نویسندگان
Serge Zhuiykov, Mohammad Karbalaei Akbari, Zhenyin Hai, Chenyang Xue, Hongyan Xu, Lachlan Hyde,