کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4986803 1454954 2017 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Tribological behavior of monocrystalline silicon from single- to multiple-asperity scratch
ترجمه فارسی عنوان
رفتار تریبولوژیکی سیلیکون تک سولفوریک از ابتدای تک به چندین اسپریت
کلمات کلیدی
تردید تک نفره چند منظوره خراش سیلیکون،
ترجمه چکیده
در طول تولید سیلیکون سطح و ساخت دستگاه های سیلیکون، ماشینکاری، برش و فرز از نانومواد به مقیاس ماکروسکول با اصطکاک و پوشیدن تحت تماس تک و چند پیچ ​​و مهره انجام می شود. در مطالعه حاضر، آزمایشهای خراش بر روی سطح سیلیکون تحت تماس تک و چندگانه، به طور متناسب مورد بررسی قرار گرفتند، و انتقال و همبستگی بین حالت های تماس مختلف مورد توجه قرار گرفت. هنگامی که سایش سطحی (شکل گیری شیار یا تپه ی پیشانی) تحت سیلیکون کشویی تک نفوذ ظاهر می شود، نیرو اصطکاک با کنترل بار و خطی با بار نرمال افزایش می یابد. با افزایش نیروی عادی اعمال شده، انتقال یک تکه تکه ای به یک خراش چندگانه مشاهده شد. تحت شرایط چند ضلعی، حوضچه های سطح در ناحیه خراشیده ایجاد شده اند که تنها در آزمایش های تک تست دیده می شوند. این مطالعه نور جدیدی را در درک پردازش سطحی سیلیکون در مقیاس چندگانه و ارائه بینش جدید برای غنی سازی تئوری تدریجی به وجود خواهد آورد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی شیمی کلوئیدی و سطحی
پیش نمایش مقاله
رفتار تریبولوژیکی سیلیکون تک سولفوریک از ابتدای تک به چندین اسپریت
چکیده انگلیسی
During producing silicon surface and fabricating silicon devices, the machining, cutting and milling from nanoscale to macroscale are accomplished with friction and wear under single- and multiple-asperity contact. In the present study, the scratch tests on silicon surface under single- and multiple-asperity contact were contrastively investigated, and the transition and correlation between different contact modes were addressed. When surface wear (formation of groove or protrusive hillock) appears under single-asperity sliding on silicon, the friction force became load-controlled and increased linearly with the normal load. The transition of single-asperity to multiple-asperity scratch was observed with the increase in the applied normal force. Under the multiple-asperity condition, surface hillocks were created on the scratched area, which were detected only under single-asperity test before. This study will shed new light on the understanding of multi-scale processing of silicon surface, and provide new insight for enriching tribology theory.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Wear - Volumes 374–375, 15 March 2017, Pages 29-35
نویسندگان
, , , ,