کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5007846 | 1461701 | 2017 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
New methods of fabricating gratings for deformation measurements: A review
ترجمه فارسی عنوان
روش های جدید ساخت مخازن برای اندازه گیری تغییر شکل: یک بررسی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
ترجمه چکیده
گریتینگ به طور گسترده ای به عنوان حامل / سنسورهای تغییر شکل پذیر عمل و مؤثر پذیرفته شده است و معمولا در بسیاری از روش های اندازه گیری تغییر شکل استفاده می شود. از آنجا که حساسیت اندازه گیری تغییر شکل به طور مستقیم با فرکانس گرید متناسب است، و دقت اندازه گیری به شدت تحت تاثیر کیفیت شبکه قرار می گیرد. بنابراین، برای تهیه یک گریت مناسب بر روی سطح نمونه که باید اندازه گیری شود، بسیار مهم است. در طی چند دهه گذشته، تعداد زیادی از روشهای تولید گریت، از جمله فتوالیتوگرافی هولوگرافی، لیتوگرافی پرتو الکترون، اکتیو پرتو یون متمرکز شده، نانویمپرینتینگ، لیتوگرافی نرم و غیره، توسعه یافته است. با وجودی که ادبیات قابل توجهی در زمینه تولید گریت می تواند یافت شود، برای ارتقاء کاربرد این روش ها، بررسی جامع لازم است. این بررسی جزئیات فنی و ویژگی های روش های تولید گریت را به تازگی توسعه داده است و پیشنهاداتی را ارائه می دهد که از روش های ساخت گریت برای استفاده در متناسب با روش های مختلف اندازه گیری تغییر شکل استفاده می شود. تاکید بر معرفی فرایندهای تولید گریت و کیفیت و کاربرد گره های حاصل شده است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
چکیده انگلیسی
Gratings have been widely accepted as practical and effective deformation carriers/sensors and are commonly used in many deformation measurement methods. Since the deformation measurement sensitivity is directly proportional to the grating frequency, and the measurement accuracy is strongly affected by the grating quality. Thus, it is crucial to prepare an appropriate grating on the specimen surface that is to be measured. Over the past few decades, an increasing number of grating fabrication methods have been developed, including holographic photolithography, electron beam lithography, focused ion beam etching, nanoimprinting, soft lithography, and others. Although substantial literature regarding grating fabrication can be found, a comprehensive review is still necessary to promote the application of these methods. This review introduces the technical details and characteristics of recently developed grating fabrication methods and provides suggestions of which grating fabrication methods to use in correspondence with different deformation measurement methods. Emphasis is placed on the introduction of grating fabrication processes and the quality and applicability of the resulting gratings.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 92, May 2017, Pages 48-56
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 92, May 2017, Pages 48-56
نویسندگان
Xianglu Dai, Huimin Xie,