New methods of fabricating gratings for deformation measurements: A review

گریتینگ به طور گسترده ای به عنوان حامل / سنسورهای تغییر شکل پذیر عمل و مؤثر پذیرفته شده است و معمولا در بسیاری از روش های اندازه گیری تغییر شکل استفاده می شود. از آنجا که حساسیت اندازه گیری تغییر شکل به طور مستقیم با فرکانس گرید متناسب است، و دقت اندازه گیری به شدت تحت تاثیر کیفیت شبکه قرار می گیرد. بنابراین، برای تهیه یک گریت مناسب بر روی سطح نمونه که باید اندازه گیری شود، بسیار مهم است. در طی چند دهه گذشته، تعداد زیادی از روشهای تولید گریت، از جمله فتوالیتوگرافی هولوگرافی، لیتوگرافی پرتو الکترون، اکتیو پرتو یون متمرکز شده، نانویمپرینتینگ، لیتوگرافی نرم و غیره، توسعه یافته است. با وجودی که ادبیات قابل توجهی در زمینه تولید گریت می تواند یافت شود، برای ارتقاء کاربرد این روش ها، بررسی جامع لازم است. این بررسی جزئیات فنی و ویژگی های روش های تولید گریت را به تازگی توسعه داده است و پیشنهاداتی را ارائه می دهد که از روش های ساخت گریت برای استفاده در متناسب با روش های مختلف اندازه گیری تغییر شکل استفاده می شود. تاکید بر معرفی فرایندهای تولید گریت و کیفیت و کاربرد گره های حاصل شده است.