کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5008177 1461834 2017 10 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Stress-modulated tilt actuator for tunable optical prisms
ترجمه فارسی عنوان
محرک شیب مدولاسیون استرس برای منشورهای نوری قابل تنظیم
کلمات کلیدی
نیترید آلومینیوم، حرارتی مکانیکی، فعال کننده، قابل تنظیم، میکرو اپتیک،
ترجمه چکیده
منیزیم نوری قابل تنظیم بر اساس تغییر شکل قطره مایع ارائه می شود. یک غشاء آلومینیوم نیترید با نوع جدیدی از ترمو مکانیکی عمل می کند. اصل عمل بر اساس یک مدولاسیون حرارتی مکانیکی از استرس ذاتی در پرتوهای آلومینیوم نیترید است. بر اساس یک مدل تحلیلی، پارامترهای کلیدی ترانزیستور بهینه سازی می شوند. علاوه بر این، تاثیر استرس ذاتی بر خواص محرک بررسی شده است. این وابستگی ها و مدل ها با ویژگی های مکانیکی نمونه ها تایید می شوند. عملیات در هوا و با مایعات محیطی تایید شده است. یک تغییر تصویر 30 میلی متر در یک تنظیم میکروسکوپی پیدا شده است که مربوط به 19 درصد میدان دید است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش مقاله
محرک شیب مدولاسیون استرس برای منشورهای نوری قابل تنظیم
چکیده انگلیسی
A tunable optical prism MOEMS based on the deformation of a liquid droplet is presented. An aluminum-nitride membrane is tilted by a novel type of thermo-mechanical actuator. The actuation principle is based on a thermo-mechanical modulation of the intrinsic stress in aluminum-nitride beams. Based on an analytical model, the key parameters of the actuator are optimized. Furthermore, the influence of the intrinsic stress on the actuator properties is investigated. These dependencies and the model are verified by mechanical characterization of samples. Operation in air and with ambient fluid has been confirmed. An image shift of 30 mm is found in a microscopic setup which corresponds to 19 % of the field of view.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 266, 15 October 2017, Pages 328-337
نویسندگان
, , , ,