کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5008398 | 1461844 | 2017 | 11 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Kinetic Monte Carlo method for the simulation of anisotropic wet etching of quartz
ترجمه فارسی عنوان
روش مینت کارلو سینتیک برای شبیه سازی ایزوتوپ مرطوب نانوذرات کوارتز
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
This study combines wet etching experiments and Kinetic Monte Carlo simulations to describe anisotropic etching of quartz for the manufacture of microelectromechanical systems (MEMS). Based on the particular atomistic structure of quartz we introduce a 'quartz-based' removal probability function with nine energy parameters. This enables describing the removal rate of any surface atom as an explicit function of the number of neighbors. An evolutionary algorithm is used to systematically transform the experimental (facet specific) etch rates of nine crystal planes parallel to the X (electric) and Y (mechanical) axes into suitable values for the nine energy parameters. To improve the computational efficiency of the evolutionary search we make use of a transformation matrix, effectively constraining the evolutionary search space. This leads to successful predictions for the etch rates of a wide range of crystallographic facets as well as for the three-dimensional etched shapes obtained on masked Z-cut substrates.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 256, 1 April 2017, Pages 24-34
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 256, 1 April 2017, Pages 24-34
نویسندگان
Hui Zhang, Yan Xing, Yuan Li, Miguel A. Gosálvez, Xiaoli Qiu,