کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5015790 1464478 2017 41 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ductile machining of single-crystal silicon for microlens arrays by ultraprecision diamond turning using a slow tool servo
ترجمه فارسی عنوان
ماشینکاری کوک کردن سیلیکون تک کریستالی برای آرایش های میکرولن ها با چرخاندن الماس فوق العاده دقیق با استفاده از سروو
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
الماس تبدیل آرایه سیلیکون میکرولنز، تشکیل چیپ چسبناک است
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش مقاله
ماشینکاری کوک کردن سیلیکون تک کریستالی برای آرایش های میکرولن ها با چرخاندن الماس فوق العاده دقیق با استفاده از سروو
چکیده انگلیسی
Diamond turned silicon microlens array, Ductile chip formation284
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: International Journal of Machine Tools and Manufacture - Volume 115, April 2017, Pages 2-14
نویسندگان
, ,