A mathematical programming approach for optimizing control plans in semiconductor manufacturing

در یک محیط رقابتی در سطح جهانی، حفظ عملکرد بالا با حداقل تعداد کنترل کیفیت، کلید تولید گیاهان برای حفظ رقابت است. در صنایع تولید نیمه هادی های مدرن، با حرکت به هندسه های کوچکتر و انواع مختلف در میان محصولات که باید همزمان اجرا شوند، طراحی برنامه های کنترل کارآمد، به طور فزاینده پیچیده می شود. از آنجائیکه 100٪ بازرسی از لحاظ هزینه و قابلیت اطمینان هر یک از کنترل ها مناسب و جالب نیست، به طور پویا شناسایی محصول مناسب برای بازرسی یکی از کلید های دستیابی به عملکرد بالا و کاهش زمان چرخه است. با این حال، هنگامی که پارامترهای کنترل بیش از حد و یا کمتر از حد انتظار، استراتژی نمونه گیری پویا نمونه گیری استاتیک می تواند به نتایج ضعیف منجر شود. در این مقاله، یک روش برنامه ریزی خطی عددی برای بهینه سازی استفاده از ظرفیت بازرسی از طریق نمونه گیری دینامیکی پیشنهاد می کنیم. هدف این است که تعیین دو پارامتر کلیدی (یعنی محدودیت هشدار و محدودیت مهار) که مربوط به سطح در نتیجه خطر و ظرفیت بازرسی موجود می باشد. این مدل در یک حلال تجاری و با استفاده از داده های واقعی صنعتی مورد آزمایش قرار گرفته است. نتایج نشان می دهد که خطر کلی را می توان بدون هیچ گونه ظرفیت اضافی به شدت کاهش داد.