کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
510408 | 865764 | 2007 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
On the application of the BGK kinetic model to the analysis of gas-structure interactions in MEMS
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
نرم افزارهای علوم کامپیوتر
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The BGK model of the Boltzmann equation is applied to the analysis of damping in silicon inertial MEMS working at low-moderate frequencies. Assuming small perturbations, the linearized steady-state 2D equation is implemented in a deterministic manner in order to avoid noise intrinsic in statistical approaches. Implementation details are discussed and the comparison with available experimental data in terms of forces exerted on the suspended shuttle is presented.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Computers & Structures - Volume 85, Issues 11–14, June–July 2007, Pages 810–817
Journal: Computers & Structures - Volume 85, Issues 11–14, June–July 2007, Pages 810–817
نویسندگان
A. Frangi, A. Frezzotti, S. Lorenzani,