کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
514883 | 866854 | 2006 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Energy-rate consideration in wafer bonding
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
نرم افزارهای علوم کامپیوتر
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
In the present study, we consider the bonding process of a pair of wafers with rough surfaces via an energy-rate concept in which “rate” refers to “area rate”. A finite element numerical simulation for a rough surface with periodical distributed asperities bonded onto a rigid half-space is carried out for demonstrating the energy-rate concept. The simulation reveals various phenomena in the wafer bonding, such as self-activated bonding, asperity shape effect and plastic deformation effect in the bonding process.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Finite Elements in Analysis and Design - Volume 42, Issues 8–9, May 2006, Pages 709–714
Journal: Finite Elements in Analysis and Design - Volume 42, Issues 8–9, May 2006, Pages 709–714
نویسندگان
H. Fan, J. G Xu, K.Y. Sze,