کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5497274 | 1530940 | 2016 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Multifunctional X-ray Lithography Station at VEPP-3
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک و نجوم (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The multifunctional X-ray lithography “LIGA” station on beamline 0 at the VEPP-3 synchrotron source is part of the shared-use center “Siberian Synchrotron and Terahertz Radiation Center” (SSTRC) in Budker Institute of Nuclear Physics (BINP, Novosibirsk, Russia). The station is intended to exposure of resist layers on substrates of different shape and lateral dimensions of 1 to 10Â cm. The development of process and re-equipment of the station goes forward, continuously. In this work we consider the current capabilities of the station; examples of microstructures fabricated are presented.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Physics Procedia - Volume 84, 2016, Pages 205-212
Journal: Physics Procedia - Volume 84, 2016, Pages 205-212
نویسندگان
B.G. Goldenberg, A.G. Lemzyakov, V.P. Nazmov, V.F. Pindyurin,