کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6861766 1439258 2018 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A micro-view-based data mining approach to diagnose the aging status of heating coils
ترجمه فارسی عنوان
روش داده کاوی مبتنی بر دیدگاه ریزنگری برای تشخیص وضعیت کهنگی کویل های گرمایشی
کلمات کلیدی
روند پیری، تحلیل داده ها، فرآیند خاص، گرمای کویل، هشدار جایگزینی، استخراج ویژگی،
فهرست مطالب مقاله
چکیده

کلمات کلیدی

1.مقدمه

2. متدولوژی

شکل 1. فلوچارت اجرا 

2.1 استخراج فرآیند

شکل2. داده های حساسیت و اطلاعات دستورالعمل از فرآیندهای هیتر نیمه هادی

2.2 استخراج ویژگی

شکل3. بخش بندی دستورالعمل در اجرای فرآیند

جدول1. نتایج خوشه بندی کامینز

شکل 4. مدت زمان یک اجرا (ثانیه) 

شکل5. استخراج ویژگی کهنگی در بخش های افزایشی 

2.3. تمایز روند و هشدار زودهنگام 

شکل 6. فلوچارت ساخت روش تشخیص روند کهنگی 

شکل 7. پایگاه داده ی جزئی برای تشخیص درایو بدون سنسور از [21] 

شکل 8. همبستگی های ویژگی تشخیص درایو بدون سنسور  

شکل 9. راکتور حرارتی [16]  

شکل 10. فرآیند اخت روند کهنگی اصلی 

3. آزمایش ها 

3.1 مواد تجربی

3.2. ساخت روند کهنگی و هشدار جایگزینی 

شکل 11. فرآیند ساخت روند کهنگی 

شکل 12. الگوریتم تبدیل چندبعدی به تک بعدی با استفاده از فاصله ماهالانوویس 

شکل 13. مجموعه داده های اتخاذ شده برای نمایش فرآیند از بخش b به بخش c در شکل 11. 

شکل 14. نمایش ساختار هشدار 

4. بحث و نتیجه گیری 
ترجمه چکیده
کهنه شدن کویل های گرمایشی؛ با توجه به عملکرد و شکست و تخلیه غیرمنتظره به طور چشمگیری بر روند نیمه هادی تاثیر می گذارد. تشخیص وضعیت و سالم بودن کویل های گرمایشی یک مسئله مهم در صنعت تولید است، اما مطالعات بسیار کمی در این حوزه و در راستای چاره اندیشی مناسب صورت گرفته است . این مطالعه دیدگاه جدیدی را ارائه می دهد که دیدگاه میکرو ی اطلاعات داده ها را از فرایندهای واقعی به دست می آورد و حتی اگر دستورالعمل ها متفاوت باشند، اثربخشی خود را از دست نمی دهند. روش اندازه گیری کهنگی پیشنهادی شامل روش های اصلی زیر است: اول، به دست آوردن جریان های فرایند خاصی که مراحل دستورالعمل ها را شامل می شود؛ دوم، تجزیه و تحلیل مناطق محلی مربوط به هر کدام از جریان های فرآیند ؛ سوم، ضبط مقادیر حساسیت و اطلاعات مربوط به تنظیمات مرتبط با جریانهای فرآیند خاص؛ چهارم، تولید یک ویژگی محلی در یک فاصله زمانی که با توجه به مناطق محلی مربوطه؛ به هر جریان فرآیند مربوط می شود؛ در نهایت، ایجاد یک روند کهنگی و فرسودگی بر اساس ویژگی های محلی و تعیین اینکه آیا هشدار زودهنگام ارسال شود یا خیر. آزمایشات نشان می دهد که رویکرد پیشنهادی برای تشخیص کهنگی می تواند، قبل از این که کویل های گرمایشی از کار بیفتند؛ یک هشدار جایگزین بسیار کارآمد را ارائه دهد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر هوش مصنوعی
پیش نمایش مقاله
روش داده کاوی مبتنی بر دیدگاه ریزنگری برای تشخیص وضعیت کهنگی کویل های گرمایشی
چکیده انگلیسی
The aging status of heating coils dramatically influences the semiconductor process with respect to the operating fluency and the cost of non-warning breakdowns. Diagnosing the health status of heating coils is a critical issue in the manufacturing industry, but very few studies have dedicated their efforts to discovering relevant remedies. This study proposes a novel observation perspective that grasps the micro view of data information from real processes, and does not lose its effectiveness even if the recipes vary. The proposed aging measuring includes the following main procedures: firstly, acquiring specific process flows composed of recipe steps; secondly, analyzing the local areas corresponding to each process flow; thirdly, capturing sensing values and the corresponding setting information related to the specific process flows; fourth, generating a local feature in a time interval corresponding to each of the process flows according to the corresponding local areas; finally, generating an aging trend on the basis of the local features, and determining whether to send a replacement early-warning. The experiments show that the proposed approach to the aging diagnosis can effectively offer a replacement warning before the heating coils run down.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Knowledge-Based Systems - Volume 143, 1 March 2018, Pages 10-18
نویسندگان
,