کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6874550 | 687960 | 2016 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A multi-parallel multiscale computational framework for chemical vapor deposition processes
ترجمه فارسی عنوان
یک چارچوب محاسباتی چند محوری برای فرایندهای رسوب شیمیایی بخار
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
چندرسانه ای موازی، رسوبات بخار شیمیایی، تجزیه دامنه، کارشناسی ارشد همزمان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
نظریه محاسباتی و ریاضیات
چکیده انگلیسی
A multiscale computational framework for coupling the multiple length scales in chemical vapor deposition (CVD) processes is implemented for studying the effect of the prevailing conditions inside a CVD reactor (macro-scale) on the film growth on a wafer with predefined topography (micro-scale). A multi-parallel method is proposed for accelerating the computations. It combines domain decomposition methods for the macro-scale (reactor scale) model, which is based on partial differential equations (PDEs), and a synchronous master-worker scheme for the parallel computation of the boundary conditions (BCs) for the PDEs; BCs are coming from the micro-scale model describing film growth on the predefined topography.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Computational Science - Volume 15, July 2016, Pages 81-85
Journal: Journal of Computational Science - Volume 15, July 2016, Pages 81-85
نویسندگان
N. Cheimarios, G. Kokkoris, A.G. Boudouvis,