کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6905284 862818 2015 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Functional networks models for rapid characterization of thin films: An application to ultrathin polycrystalline silicon germanium films
ترجمه فارسی عنوان
مدل های شبکه های کاربردی برای تشخیص سریع فیلم های نازک: کاربردی برای فیلم های ژرمانیم سیلیکون پلی کریستالی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر نرم افزارهای علوم کامپیوتر
چکیده انگلیسی

- Functional network predictive model for film characterization is constructed.
- 154 experimental data sets were used for training and testing.
- It accurately predicts poly-SiGe film thickness, resistivity and deposition rate.
- The models can be used to proactively control film properties.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Soft Computing - Volume 28, March 2015, Pages 11-18
نویسندگان
, , ,