کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6905284 | 862818 | 2015 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Functional networks models for rapid characterization of thin films: An application to ultrathin polycrystalline silicon germanium films
ترجمه فارسی عنوان
مدل های شبکه های کاربردی برای تشخیص سریع فیلم های نازک: کاربردی برای فیلم های ژرمانیم سیلیکون پلی کریستالی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
نرم افزارهای علوم کامپیوتر
چکیده انگلیسی
- Functional network predictive model for film characterization is constructed.
- 154 experimental data sets were used for training and testing.
- It accurately predicts poly-SiGe film thickness, resistivity and deposition rate.
- The models can be used to proactively control film properties.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Soft Computing - Volume 28, March 2015, Pages 11-18
Journal: Applied Soft Computing - Volume 28, March 2015, Pages 11-18
نویسندگان
T.B. Asafa, A.A. Adeniran, S.O. Olatunji,