کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6953703 1451823 2018 12 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nondestructive gap dimension estimation of electrostatic MEMS resonators from electrical measurements
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر پردازش سیگنال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Nondestructive gap dimension estimation of electrostatic MEMS resonators from electrical measurements
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Mechanical Systems and Signal Processing - Volume 112, November 2018, Pages 10-21
نویسندگان
, , , ,