کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6953703 | 1451823 | 2018 | 12 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nondestructive gap dimension estimation of electrostatic MEMS resonators from electrical measurements
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
پردازش سیگنال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Nondestructive gap dimension estimation of electrostatic MEMS resonators from electrical measurements Nondestructive gap dimension estimation of electrostatic MEMS resonators from electrical measurements](/preview/png/6953703.png)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Mechanical Systems and Signal Processing - Volume 112, November 2018, Pages 10-21
Journal: Mechanical Systems and Signal Processing - Volume 112, November 2018, Pages 10-21
نویسندگان
A. Brenes, B. Vysotskyi, E. Lefeuvre, J. Juillard,