کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7133174 1461821 2018 15 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fiber-optic Fabry-Perot interferometer based high sensitive cantilever microphone
ترجمه فارسی عنوان
فیبر نوری فیبر نوری فیبر نوری فیبر نوری مبتنی بر میکروفون لنز بسیار حساس است
کلمات کلیدی
میکروفون کناری اینترفرمت فابری پرت، حسگر فیبر نوری، لیزر میکرو ماشینکاری،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
We demonstrate a high sensitive cantilever microphone based on fiber-optic Fabry-Perot interferometer. A stainless steel cantilever is manufactured by laser micro-machining technique. The size of the cantilever is 2 mm × 1 mm, and the thickness is 10 μm. The air gap between the fiber endface and the cantilever forms the Fabry-Perot cavity. Acoustic sensing test demonstrates high sensitivities in the frequency range from 100 Hz to 3 kHz. The pressure sensitivity and the noise-limited minimum detectable acoustic pressure level are measured to be 364 nm/Pa and 8.5 μPa/Hz1/2 at the frequency of 1 kHz, respectively. The Fabry-Perot interferometer based cantilever microphone shows advantages of high sensitivity, small size, easy to install and immune to electromagnetic interference.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 279, 15 August 2018, Pages 107-112
نویسندگان
, , , , , , ,