کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7133174 | 1461821 | 2018 | 15 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fiber-optic Fabry-Perot interferometer based high sensitive cantilever microphone
ترجمه فارسی عنوان
فیبر نوری فیبر نوری فیبر نوری فیبر نوری مبتنی بر میکروفون لنز بسیار حساس است
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
میکروفون کناری اینترفرمت فابری پرت، حسگر فیبر نوری، لیزر میکرو ماشینکاری،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
We demonstrate a high sensitive cantilever microphone based on fiber-optic Fabry-Perot interferometer. A stainless steel cantilever is manufactured by laser micro-machining technique. The size of the cantilever is 2â¯mmâ¯Ãâ¯1â¯mm, and the thickness is 10â¯Î¼m. The air gap between the fiber endface and the cantilever forms the Fabry-Perot cavity. Acoustic sensing test demonstrates high sensitivities in the frequency range from 100â¯Hz to 3â¯kHz. The pressure sensitivity and the noise-limited minimum detectable acoustic pressure level are measured to be 364â¯nm/Pa and 8.5â¯Î¼Pa/Hz1/2 at the frequency of 1â¯kHz, respectively. The Fabry-Perot interferometer based cantilever microphone shows advantages of high sensitivity, small size, easy to install and immune to electromagnetic interference.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 279, 15 August 2018, Pages 107-112
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 279, 15 August 2018, Pages 107-112
نویسندگان
Ke Chen, Zhenfeng Gong, Min Guo, Shaochen Yu, Chao Qu, Xinlei Zhou, Qingxu Yu,