کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7133251 | 1461823 | 2018 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mid-infrared absorption gas sensing using a silicon strip waveguide
ترجمه فارسی عنوان
سنجش گاز جذب مادون قرمز با استفاده از موجبر سیلیکونی نوار
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
سنجش گاز نوری، فوتونیک سیلیکون مجتمع موجی سیلیکون، جاذبه میدان مغناطیسی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
Optical sensing is an emerging field for photonic microsystems that operate in the mid-infrared spectral range. In this work we present a photonic gas sensor based on infrared evanescent field absorption, designed for CO2 sensing. The sensing structure comprises a strip waveguide on a silicon nitride layer. A modal analysis was performed using the finite element and the finite difference time domain method. The fabricated waveguides were characterized and the concept was validated with quantitative CO2 measurements. The measured transmittance at various CO2 concentrations was fitted using the Beer-Lambert law, and the results proved that the presented concept is feasible for CO2 gas sensing. The devised demonstrator device allowed to detect CO2 concentrations down to 5000â¯ppm, which is the workplace exposure limit in most jurisdictions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 277, 1 July 2018, Pages 117-123
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 277, 1 July 2018, Pages 117-123
نویسندگان
Christian Ranacher, Cristina Consani, Andreas Tortschanoff, Reyhaneh Jannesari, Markus Bergmeister, Thomas Grille, Bernhard Jakoby,