کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7133835 | 1461830 | 2018 | 10 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Thin-film repulsive-force electrostatic actuators
ترجمه فارسی عنوان
اپراتورهای الکترواستاتیک خمپاره ای نازک فیلم
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
محرک الکترواستاتیک، نیروهای خلع سلاح، فیلم های نازک،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
We demonstrate thin-film repulsive-force electrostatic actuators that employ a new electrode pattern and are useful for low-force actuation applications. Compared to prior patterns, the new electrode geometry increases electrostatic force production by an order of magnitude (at equal voltages) and eliminates the most common shorting failure modes. These electrostatic actuators have stable open-loop operation with no pull-in instability, low mechanical hysteresis, and peak force in rest configurations. The actuators are fabricated with a planar, flex-circuit manufacturing process, allowing production at scale and over large areas. Two-layer out-of-plane linear actuators (25â¯Ãâ¯10â¯mm electrode area) were characterized: with 0-1000â¯V inputs (40â¯Ãâ¯106â¯V/m), blocked normal forces of 9.03â¯mN (36.1â¯Pa) were generated, and controllable linear displacements up to 511â¯Î¼m were measured across an open loop bandwidth of 43â¯Hz. Finally, we present a 290â¯mg 1-DoF micro-mirror system for laser beam steering that employs a two-layer out-of-plane rotational actuator for open-loop stable operation with controlled angular displacements up to 5.1° at 1000â¯V/16â¯Hz.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 270, 1 February 2018, Pages 252-261
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 270, 1 February 2018, Pages 252-261
نویسندگان
Ethan W. Schaler, Tarek I. Zohdi, Ronald S. Fearing,