An experimental and theoretical investigation of electrostatically coupled cantilever microbeams

ما یک بررسی تجربی و نظری از رفتار استاتیک و پویا از میکروب های سیلیکونی متصل شده به سمت الکترواستاتیکی دارد. رزوناتورهای پرتوهای متصل شده از دو پرتوهای کانال قابل انعطاف تقریبا یکسان تشکیل می دهند که دو طرف یک خازن تشکیل می دهند. تجزیه و تحلیل تجربی و نظری سیستم دوگانه انجام شده و در مقایسه با نتایج حاصل از پرتوهایی که با الکترود ثابت به طور جداگانه فعال می شوند، انجام می شود. ویژگی های کششی از پرتوهای الکترواستاتیکی همراه، از جمله زمان کشیدن، مورد مطالعه قرار گرفته است. پویایی پرتوهای دوگانه متصل شده از طریق فرکانس های مختلف در اطراف محدوده فرکانس های طبیعی سیستم برای ولتاژ های مختلف ورودی مورد بررسی قرار می گیرد. توافق خوب در میان نتایج شبیه سازی و داده های تجربی گزارش شده است. نتایج نشان می دهد که کاهش قابل توجهی در مقادیر کشش در مقایسه با رزوناتورهای تک میکروب ها. پویایی رزوناتورهای پرتوهای متصل به عنوان یک راه برای افزایش پهنای باند رزوناتور در نزدیکی رزونانس اولیه و همچنین راه برای معرفی تغییر فرکانس فرکانس است که می تواند برای برنامه های سنجش رزونانس امیدوار باشد. علاوه بر این ویژگی های پویای پویا نیز مورد مطالعه قرار گرفته و پیشنهاد شده است به عنوان راهی برای حس تغییر در فرکانس رزونانس.