کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7134706 | 1461853 | 2016 | 27 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Modeling and validation of acoustic performances of micro-acoustic sources for hearing applications
ترجمه فارسی عنوان
مدلسازی و اعتبار سنجی عملکرد صوتی منابع میکرو آکوستیک برای کاربردهای شنوایی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
چکیده انگلیسی
We report on a micro-acoustic source based on industrial 0.35 μm CMOS-MEMS process with only one additional post-process step. The fabrication flow completed with the characterization results of an electrostatic micro-acoustic source based on 0.35 μm CMOS process with sacrificial SiO2 etch is shown here for the first time. The acoustic pressure in air in the vicinity of the resonant frequency (32 kHz) at the distance of 10 mm from the source was measured. The acoustic pressure of 12 mPa was obtained when the source was driven by an AC signal of 6 VAC and a DC bias of 8 VDC.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 247, 15 August 2016, Pages 614-628
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 247, 15 August 2016, Pages 614-628
نویسندگان
Giorgio De Pasquale, Libor Rufer, Skandar Basrour, Aurelio Somà ,