Steel integrated thin film sensors for characterizing grinding processes

ما در حال حاضر یک قطعه کار با سنسورهای مقاوم در برابر فیلم نازک یکپارچه برای اندازه گیری درجه حرارت در هنگام سنگ زنی. این در بررسی رابطه بین بارهای رخ داده در فرایند ماشینکاری و تغییرات مواد بعدی قطعات قطعه مفید است. با این حال، میکرو سازه های مقاوم در برابر فیلم های نازک هنوز در فولاد برای اندازه گیری بار در هنگام سنگ زنی ساخته نشده اند. برای ساختن قطعه سنسوری، سنسورهای مقاومتی فیلم نازک در ابتدا بر روی یک ورقه فولادی روی سطح ویفر ساخته می شوند و بعدا در قطعه کار قرار می گیرند. بنابراین تکنیک های مختلف پیوند و چسب ها مورد ارزیابی قرار می گیرند. سپس قطعه سنسورها برای مشخص کردن روند آسیاب کردن که در آن اندازه گیری دما در محل با ضبط و تجزیه و تحلیل داده های سنسور انجام می شود استفاده می شود. همچنین یک ترموکوپل ماکروسکوپی در قطعه کار یکپارچه شده است، برای مقایسه اندازه گیری با حسگرهای فیلم نازک. با توجه به فرآیند ادغام سنسورها، مواد خارجی (چسب) به قطعه کار تبدیل می شود که رفتار فیزیکی آن مانند هدایت دما را نسبت به یک قطعه غیر حساسیتی تغییر می دهد. بخش چالش برانگیز این است که این اثر خارجی خارجی را اندازه گیری کند که هنوز در ادبیات انجام نشده است، تا اهمیت قاطع نتایج اندازه گیری را بدست آورد. به همین دلیل است که ما با استفاده از مدل سازی عناصر محدود، ما را به لحاظ نظری از روند پردازش در نظر می گیریم و شبیه سازی را با نتایج اندازه گیری کالیبراسیون کردیم. در این حالت می توان نتایج اندازه گیری را به گونه ای محاسبه کرد که اگر در قطعه کار هیچ سنسور وجود نداشته باشد.