An analytical thermal-structural model of a gas-sealed capacitive pressure sensor with a mechanical temperature compensation structure

یک مدل حرارتی ساختاری همراه با سنسور فشار خازنی گاز بسته بندی شده ارائه شده است. سنسور فشار خازنی گاز به طور خاص برای نظارت بر فعالیت های انسانی مورد استفاده قرار گرفته است، برای اندازه گیری فشار جو در تحقیقات ما. ساختار جریمه دما مکانیکی برای کاهش راندگی حرارتی سنسور فشار گاز مهر و موم شده استفاده می شود. برای تعیین نتایج جبران سازی ساختار جرقه دما، یک مدل حرارتی ساختاری ارائه شده است. تئوری صفحات لمینیت کلاسیک برای به دست آوردن معادلات تعادل برای صفحات چند لایه مدور حاوی یک یا چند لایه استفاده می شود. روشهای برآورد پارامترهای مدل و انواع ساختارهای جبران شده مورد بحث و بررسی قرارگرفتن مدل از طریق آزمایش قرار گرفته است. یافته های این تحقیق نشان می دهد که مدل نتیجه گیرنده مناسب است، بنابراین ساخت یک ساختار جبران مکانیکی برای یک سنسور فشار خازنی گاز بسته بندی شده برای کاهش راندگی حرارتی امکان پذیر است.