A novel compliant micropositioning stage with dual ranges and resolutions

مراحل دوگانه ای در برنامه های موقعیت یابی دقت مورد نیاز است که خواستار وضوح خوب در محدوده حرکت کوچک و رزولوشن درشت در محدوده بزرگتر هستند. مراحل دوگانه سنتی با استفاده از دو محرک تحقق می یابند، که سازوکار و روش های طراحی کنترل را پیچیده می کند. این مقاله طراحی و آزمایش یک ردیف دوبعدی دوگانه رزولوشن دقت دوگانه را که توسط یک محرک تک خطی هدایت می شود، ارائه می دهد. ساختار مرحله ای با انعطاف برگ ایجاد شده است تا یک سکته بزرگ ایجاد شود. سنسورهای فشار برای استفاده از قطعنامه های مختلف در دو محدوده حرکت استفاده می شود. برای اندازه گیری محدوده حرکت و نسبت رزولوشن ضخامت / نسبتا کم، مدل های تحلیلی از طریق شبیه سازی های تجزیه و تحلیل عناصر محدود ایجاد و تایید می شوند. یک نمونه اولیه از یک مفهوم اثبات شده برای تحقیقات آزمایشی ساخته شده و نتایج تجربی تأیید اثر طراحی پیشنهادی است. ایده های گزارش شده نیز می توانند به طراحی مراحل میکروپوزیسیون چند محور گسترش یابد.