کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7138406 | 1461917 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Noise suppression of MEMS readout near pull-in
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We show that electromechanical feedback in MEMS sensors can be used to eliminate the noise of the readout electronics near the pull-in point, at which the force-to-displacement gain of the system becomes infinite. Displacement bias through electrical feedback instead of voltage bias allows stable operation up to and above the pull-in point. Experimentally, the electronics contribution to system resolution was suppressed by an order of magnitude, reaching the intrinsic resolution of the MEMS microphone. The technique allows the use of standard integrated electronics with noise-critical MEMS sensors, such as microphones, pressure sensors and accelerometers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 183, August 2012, Pages 101-104
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 183, August 2012, Pages 101-104
نویسندگان
P. Helistö, H. Sipola, H. Seppä,