کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7147088 1462095 2014 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Functionalization layer effect on the mechanical properties of silicon based micro-cantilever mass sensors: A theoretical study
ترجمه فارسی عنوان
اثر لایه کاربردی بر خواص مکانیکی سنسورهای ماسه ای میکرو کانتینر بر پایه سیلیکون: یک مطالعه نظری
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
چکیده انگلیسی
In this paper we calculate the surface stress and surface elastic constants of a model functionalized Si(1 1 1) surface by means of ab initio Density Functional Theory calculations. Subsequently these values are used in Finite Element Method simulations to predict the resonance frequency shift induced in a silicon cantilever by surface functionalization; this “multiscale” approach considers both changes in mass and elasticity of the microstructure induced by molecular adsorption. Interestingly our results show that the change in surface elastic constants, often ignored in experimental analysis, may account for 50% of the frequency shift and thus lead to a large overestimation of the attached mass.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 195, May 2014, Pages 177-180
نویسندگان
, , ,