کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7176757 1466736 2016 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures
چکیده انگلیسی
Deep X-ray lithography with synchrotron radiation can be successfully used in fabrication of high-aspect-ratio microstructures (HARMs) micrometers up to several millimetres high. As such microstructures are often mechanically unstable, a supporting layer incorporated into a micropattern, was developed and studied.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Materials Processing Technology - Volume 231, May 2016, Pages 319-325
نویسندگان
, , , ,