کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7176757 | 1466736 | 2016 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Deep X-ray lithography with synchrotron radiation can be successfully used in fabrication of high-aspect-ratio microstructures (HARMs) micrometers up to several millimetres high. As such microstructures are often mechanically unstable, a supporting layer incorporated into a micropattern, was developed and studied.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Materials Processing Technology - Volume 231, May 2016, Pages 319-325
Journal: Journal of Materials Processing Technology - Volume 231, May 2016, Pages 319-325
نویسندگان
Vladimir Nazmov, Elena Reznikova, Juergen Mohr, Anja Voigt,