کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
736984 | 893902 | 2009 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of Au sidewall micropatterns using Si-reinforced PDMS molds
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Existing lithographic approaches are good at patterning the top surface of a substrate, but not suited to producing patterns on the sidewalls of microstructures. In this work, we have developed a new method to generate sidewall micropatterns using Si-reinforced polydimethylsiloxane (PDMS) molds through hot-embossing processes. We have successfully produced one and two arrays of 10 μm Au dots, respectively, on the 42- and 85-μm-high sidewalls of 300-μm-wide polymer channels. We have also explored the possibility to fabricate 110-μm-wide Au wires on these channel sidewalls.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 152, Issue 1, 21 May 2009, Pages 96–103
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 152, Issue 1, 21 May 2009, Pages 96–103
نویسندگان
Xinchuan Liu, Cheng Luo,