کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
737137 | 1461905 | 2013 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design and implementation of electrostatic micro-actuators in ultrasonic frequency on a flexible substrate, PEN (polyethylene naphthalate)
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We present an electrostatic actuator fabricated on a flexible polyethylene naphthalate (PEN) substrate, which emits acoustic waves at ultrasonic frequencies. The MEMS actuator has a suspended parylene diaphragm which consists of 2–6 mm diameter and 6 μm gap between the diaphragm and substrate. Driving circuitry consists of voltage controlled oscillator (VCO) and output buffer chain, and was fabricated by Arizona State University's Flexible Display Center-IC process. The fabricated actuator emits ultrasonic waves at 25 kHz, and acoustic sound pressure of 27 dB SPL (sound pressure level) driven by the hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) circuitry.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 195, 1 June 2013, Pages 198–205
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 195, 1 June 2013, Pages 198–205
نویسندگان
S. Kim, X. Zhang, R. Daugherty, E. Lee, G. Kunnen, D.R. Allee, E. Forsythe, J. Chae,