کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
737843 | 1461923 | 2012 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Microfabrication of compliant all-polymer MEMS thermal actuators
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
This paper presents a fabrication process for compliant all-polymer MEMS actuators. This process allows high-aspect ratio conductive and non-conductive polymer features to be fabricated together in-plane. With this capability, robust all-polymer thermal actuators have demonstrated displacements as large at 100 μm and forces as high as 55 μN. The actuators are fabricated with elastomeric materials only, so they are very robust and can undergo large strains in both tension and bending and still operate once released.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 177, April 2012, Pages 16–22
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 177, April 2012, Pages 16–22
نویسندگان
Aaron P. Gerratt, Sarah Bergbreiter,