کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
738018 893982 2008 10 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A comparison of precision optical displacement sensors for the 3D measurement of complex surface profiles
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
A comparison of precision optical displacement sensors for the 3D measurement of complex surface profiles
چکیده انگلیسی

Non-contact optical sensors, combined with a raster scanning system, can be used in surface metrology applications, such as MEMS processing to build high-precision topological surface maps representing the surface profile. We compare three optical displacement sensors for the measurement of complex surfaces, focussing on early sound recordings and recommend sensor selection based on parameters, including measurement area, time and resolution.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 142, Issue 1, 10 March 2008, Pages 2–11
نویسندگان
, , , ,