کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
738018 | 893982 | 2008 | 10 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A comparison of precision optical displacement sensors for the 3D measurement of complex surface profiles
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Non-contact optical sensors, combined with a raster scanning system, can be used in surface metrology applications, such as MEMS processing to build high-precision topological surface maps representing the surface profile. We compare three optical displacement sensors for the measurement of complex surfaces, focussing on early sound recordings and recommend sensor selection based on parameters, including measurement area, time and resolution.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 142, Issue 1, 10 March 2008, Pages 2–11
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 142, Issue 1, 10 March 2008, Pages 2–11
نویسندگان
Peter J. Boltryk, Martyn Hill, John W. McBride, Antony Nascè,