کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
740497 | 894170 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Silicon microphone development and application
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper gives an overview of the development of Silicon microphones fabricated in a standard BiCMOS process line of Infineon. MEMS development results in reliable processes for high sensitivity poly-silicon membranes. Microphones with sensitivity up to −39 dB V/Pa at 2 V bias and a signal to noise ratio of up to 65 dB(A) are presented. The impact of packaging on the product design is described. As an example a directional microphone with cardioid response and backward noise suppression of 19 dB is described.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 133, Issue 2, 12 February 2007, Pages 283–287
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 133, Issue 2, 12 February 2007, Pages 283–287
نویسندگان
Alfons Dehé,