کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
740833 | 894191 | 2011 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Room-temperature CO2 sensing using metal–insulator–semiconductor capacitors comprising atomic-layer-deposited La2O3 thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Room-temperature CO2 sensing using metal–insulator–semiconductor capacitors comprising atomic-layer-deposited La2O3 thin films Room-temperature CO2 sensing using metal–insulator–semiconductor capacitors comprising atomic-layer-deposited La2O3 thin films](/preview/png/740833.png)
چکیده انگلیسی
Room temperature detection of CO2 using metal–insulator–silicon (MIS) devices is reported. These devices comprise atomic layer deposited La2O3 thin films as the gas-sensitive dielectric layer and Pt, Pt/Ta and Al as the electrodes. Physical mechanisms that lead to the detection of CO2 at room temperature are discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 156, Issue 1, 10 August 2011, Pages 276–282
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 156, Issue 1, 10 August 2011, Pages 276–282
نویسندگان
K.B. Jinesh, V.A.T. Dam, J. Swerts, C. de Nooijer, S. van Elshocht, S.H. Brongersma, M. Crego-Calama,