کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
743917 | 894374 | 2008 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrically isolated thermally carbonized porous silicon layer for humidity sensing purposes
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The resistance of the thermally carbonized porous silicon (TCPSi) against HF was utilized to etch a second porous layer underneath the TCPSi sensing layer. Three oxidation methods were studied to obtain electrically isolated TCPSi sensing layers for humidity sensing purposes. The present study showed that electrochemical oxidation is propitious for such applications. The other two methods, pyridine-assisted vapor and liquid oxidations, resulted in cracking at the interface of the TCPSi and oxidized PSi layers. The TCPSi sensor with an electrically isolated sensing layer was five times more sensitive than a typical TCPSi sensor.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 131, Issue 2, 14 May 2008, Pages 627–632
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 131, Issue 2, 14 May 2008, Pages 627–632
نویسندگان
Jaani Tuura, Mikko Björkqvist, Jarno Salonen, Vesa-Pekka Lehto,