کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
744609 | 894394 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Single step deposition of different morphology ZnO gas sensing films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Al-doped ZnO thin films were deposited onto fixed silicon substrates by dc reactive sputtering. The inherent lateral inhomogeneity in the deposited film with areas of different morphology and sheet resistance revealed different sensing properties. This novel approach offers the possibility of controllable deposition of ZnO sensing layers for the simultaneous manufacturing of sensors with different properties in an array in a single technological step.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 127, Issue 1, 20 October 2007, Pages 157–160
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 127, Issue 1, 20 October 2007, Pages 157–160
نویسندگان
Á. Németh, E. Horváth, Z. Lábadi, L. Fedák, I. Bársony,