کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
745152 1462128 2006 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrostatic shutter design for a miniaturized ion mobility spectrometer
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Electrostatic shutter design for a miniaturized ion mobility spectrometer
چکیده انگلیسی

Electrostatic ion shutters are a key component in ion mobility spectrometry technology. Ion mobility spectrometry instruments may be miniaturized by using MEMS components. In this paper we present an ion shutter made in bulk silicon micromachining. An optimization of the shutter design is made through a physical model. A study has been carried out considering several parameters (electrode geometry, voltage applied) in order to achieve an optimal electrostatic shutter in terms of closure and aperture ratio.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 118, Issues 1–2, 25 October 2006, Pages 338–342
نویسندگان
, , , , , , ,