کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
746376 894452 2009 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Recent developments in interferometry for microsystems metrology
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Recent developments in interferometry for microsystems metrology
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 47, Issue 2, February 2009, Pages 199-202
نویسندگان
, ,