کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
751231 | 895212 | 2010 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Atomic layer deposition of tin dioxide sensing film in microhotplate gas sensors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Atomic layer deposition of tin dioxide sensing film in microhotplate gas sensors Atomic layer deposition of tin dioxide sensing film in microhotplate gas sensors](/preview/png/751231.png)
چکیده انگلیسی
We report the use of atomic layer deposition (ALD) to produce the gas-sensitive tin dioxide film in a microhotplate gas sensor. The performance of the device was demonstrated using ethanol, acetone and acrylonitrile as model analytes. Fast response times and low drift rates of the output signal were measured, indicating a structurally stable tin dioxide film and reflecting the capabilities of ALD in gas sensor applications. Fabrication of the microhotplate using tungsten metallization and plasma deposited silicon dioxide dielectrics is also detailed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 148, Issue 1, 30 June 2010, Pages 227–232
Journal: Sensors and Actuators B: Chemical - Volume 148, Issue 1, 30 June 2010, Pages 227–232
نویسندگان
Antti J. Niskanen, Aapo Varpula, Mikko Utriainen, Gomathi Natarajan, David C. Cameron, Sergey Novikov, Veli-Matti Airaksinen, Juha Sinkkonen, Sami Franssila,