کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8130580 | 1523213 | 2015 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Lifetime of high-order thickness resonances of thin silicon membranes
ترجمه فارسی عنوان
عمر رزونانس های ضخامت بالا از غشاهای سیلیکونی نازک
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
آکوستیک و فرا صوت
چکیده انگلیسی
Femtosecond laser pulses are used to excite and probe high-order longitudinal thickness resonances at a frequency of â¼270 GHz in suspended Si membranes with thickness ranging from 0.4 to 15 μm. The measured acoustic lifetime scales linearly with the membrane thickness and is shown to be controlled by the surface specularity which correlates with roughness characterized by atomic force microscopy. Observed Q-factor values up to 2400 at room temperature result from the existence of a local maximum of the material Q in the sub-THz range. However, surface specularity would need to be improved over measured values of â¼0.5 in order to achieve high Q values in nanoscale devices. The results support the validity of the diffuse boundary scattering model in analyzing thermal transport in thin Si membranes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultrasonics - Volume 56, February 2015, Pages 116-121
Journal: Ultrasonics - Volume 56, February 2015, Pages 116-121
نویسندگان
A.A. Maznev, F. Hofmann, J. Cuffe, J.K. Eliason, K.A. Nelson,