Contribution of ultrasonic traveling wave to chemical-mechanical polishing

ویبراتورهای اولتراسونیک به دستگاه های پرداخت جرمی شیمیایی معرفی می شوند و در این سیستم پرداخت، ویبراتور های التراسونیک موج حمل موج اولتراسونیک را تولید می کنند و با چرخ دنده های سیلیکونی خنثی با سرعت داده شده هماهنگ می شوند تا مقادیر ویفر سیلیکون جلا را مقایسه کنند. و آزمایشات مربوط به پلیمریزاسیون شیمیایی با کمک ارتعاش التراسونیک به منظور بررسی تاثیر ارتعاشات اولتراسونیک بر روی پلیمری شیمیایی-مکانیکی انجام شده است. با مقایسه مقادیر خشن بین دو ویفر سیلیکون جلا با ارتعاشات اولتراسونیک کمک شده و بدون ارتعاش کمک می شود، مشخص شده است که مورفولوژی سیلیکون ویفر، جوش داده شده با ارتعاش دستی بهتر از آن است که بدون ارتعاش کمک می کند، یعنی این سری آزمایش ها نشان می دهد که ارتعاشات اولتراسونیک برای درمان جوشکاری شیمیایی سودمند است. با در نظر گرفتن درک اهمیت لرزش اولتراسونیک به جوش های شیمیایی و مکانیکی در جزئیات، مدل پلیمری شیمیایی و مکانیکی با ارتعاش التراسونیک کمک شده ساخته شده است، که ارتباط میزان حذف و متغیرهای له کننده مانند چرخش سرعت ویفر سیلیکون، دامنه و فرکانس ویبراتورها، تراکم ذرات جلا خشکی و ویژگی های پد پاک سازی و غیره. این مدل نه تنها می تواند برای توضیح نتایج تجربی استفاده شود، بلکه به منظور روشن کردن نقش هایی که از طریق متغیرهای پاکسازی .