کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
831703 | 908109 | 2011 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design of laser micromachined single crystal 6H–SiC diaphragms for high-temperature micro-electro-mechanical-system pressure sensors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A 248-nm, 23-ns pulsed excimer laser was used to micromachine 50 μm thick diaphragms in 6H–SiC wafers. The diaphragms were then subjected to high-pressure (0.7–7 MPa) and high temperature (500 K) tests to obtain the pressure-deflection curves. A finite element model was used to predict the stresses and displacements as a function of temperature and pressure. Model data is in good agreement with experiments. The stresses, strains and displacements were determined in order to facilitate the design of high-temperature micro-electro-mechanical-system pressure sensors.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials & Design - Volume 32, Issue 1, January 2011, Pages 127–132
Journal: Materials & Design - Volume 32, Issue 1, January 2011, Pages 127–132
نویسندگان
Saurabh Gupta, Pal Molian,