کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9699722 | 1461937 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
End-fire coupling of a SU-8 waveguide to a silicon mesa photodiode: Integrability in an optical analysis microsystem
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
This work deals with mesa silicon photodiodes and SU-8 ridge waveguides fabrication and their coupling by means of an end-fire configuration. Both photodiodes and waveguides are electrically and optically characterized and are expected to be used as optical power measurement devices for integration in a miniaturized optical analysis system. The integrability of the devices is studied through an analysis of the further steps necessary to build a complete optical analysis microsystem and the feasibility of such device is empirically anticipated.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 313-318
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 313-318
نویسندگان
P. de la Fuente, J.A. Etxeberria, J. Berganzo, J.M. Ruano-López, M.T. Arroyo, E. Castaño, F.J. Gracia,