کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9699760 | 1461937 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Monolithic-integrated 8CH MEMS variable optical attenuators
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Monolithic-integrated 8CH MEMS variable optical attenuators Monolithic-integrated 8CH MEMS variable optical attenuators](/preview/png/9699760.png)
چکیده انگلیسی
Monolithic-integrated variable optical attenuator (VOA) array devices with eight channels are realized and characterized in this study. This VOA array device is derived by DRIE micromachining process and is controlled by using electrostatic comb drive actuator. Both bright and dark types of VOA operations are presented with respect to in-line and reflection types of light attenuation configuration. This multi-channeled VOA device is potentially to be scaled up to 16 channels. Except to the state-of-the-art performance, the reported packaged devices have compact footprint of 18 mm Ã 18 mm Ã 5 mm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 596-601
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 596-601
نویسندگان
Chengkuo Lee,